添付テンプ資料シリョウ−3
 
  フィルタ取替トリカ真空シンクウ調査チョウサ結果ケッカ
         
(R−24)
フィルタ取替 真空度(mmHg) 流量 (Nl/min) 経 過 時 間
日 付 時刻 替前 替後 替前 替後  
2001/11/26 13:56 -40 -40 48 49  
2001/12/19 14:06 -70 -70 48 49 23
2002/01/24 9:54 -130 -70 45 48 35
2002/02/21 14:37 -140 -70 45 48 28
2002/03/28 10:52 -155 -70 45 48 34
2002/4/22 14:40 -160 -75 45 48 25
2002/5/22 11:16 -270 -70 35 48 29
2002/6/20 7:09 -300 -70 35 48 28
2002/6/26 10:48 -75 -70 48 48  6
2002/7/10 10:21 -80 -70 47 48 13
2002/7/24 14:43 -95 -70 47 48 14
           
(R−34)          
フィルタ取替 真空度(mmHg) 流量 (Nl/min) 経 過 時 間
日 付 時刻 替前 替後 替前 替後  
2001/11/26 10:36 -60 -40 49 49  
2001/12/19 10:54 -50 -45 49 50 23
2002/01/23 10:55 -120 -45 45 49 35
2002/02/21 10:33 -120 -50 45 50 28
2002/03/28 14:35 -210 -50 39 50 35
2002/4/22 10:41 -110 -50 45 50 24
2002/5/22 14:42 -180 -50 40 50 30
2002/6/20 7:09 -300 -50 50 50 28
2002/6/27 13:47 -50 -50 50 50  7
2002/07/10 11:15 -74 -48 48 50 12
2002/07/25 10:31 -80 -45 48 50 15